华立捷搭配AIX2800G4－TMMOCVD系统，减少外延晶圆尺寸，提升生产能力据麦姆斯咨询报导，台湾横向腔面升空激光器（VCSEL）外延和芯片制造商HLJTechnology（华立捷科技股份有限公司，以下全称“华立捷”）已采购多台MOCVD设备AIX2800G4－TM。该订单将用作不断扩大华立捷的晶圆生产能力，同时将VCSEL的晶圆尺寸从4英寸提升至6英寸。Aixtron回应，其全自动行星式反应器系统将于2018年第四季度以8x6英寸的配备供货。据Aixtron称之为，AIX2800G4－TM被视作还包括VCSEL在内的高端激光应用于的行业标准，特别是在3D传感领域，这是因为行星式反应器获取的工艺性能卓越，可准确掌控外延层厚度和均匀分布性。

因此，用于该系统的工厂能在符合低产量的同时获取高质量的产品。华立捷总经理LarryLai说：“为了符合市场对外延晶圆和芯片级VCSEL的快速增长市场需求，我们要求将晶圆尺寸提升到6英寸。从2018年第四季度开始，新的采购的两套AixtronMOCVD系统将到达华立捷。

2019年第二季度，第一条原始的VCSEL量产线将投入使用。”“很高兴我们的新合作伙伴华立捷自由选择了AIX2800G4－TM系统，这套设备可实现一流的VCSEL外延和芯片生产量产工艺。期望我们与华立捷的合作，我们将全力帮助华立捷的生产工艺与我们的设备极致给定。

”Aixtron首席执行官BerndSchulte说道。

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